解决方案 

针对微电子工艺对激光加工的高精度、高稳定性与高自动化需求,我们提供成熟激光解决方案,广泛应用于TGV、晶圆表面处理、划片开槽及微结构加工等多个半导体制程关键环节。
TGV玻璃通孔
我司TGV专用光源具备飞秒级短脉宽、优越光束质量(M²<1.2)与高脉冲稳定性(<2%),从源头保障加工精度,最大限度降低热影响。刻蚀工艺方面掌握全流程自主可控技术,可根据玻璃成分灵活调配专用刻蚀药液。实现高深径比(>20:1)、低粗糙度(可控至1nm以下)的高质量孔道制备。
晶圆缺陷检测
266nm深紫外波长可完美匹配高端晶圆缺陷检测需求,检测灵敏度较传统355nm光源提升3倍以上,严格控制晶圆之间、同一晶圆上的工艺一致性。
激光薄膜镀层去除
柔性OLED屏采用激光剥离技术,从玻璃载体上高效零损伤分离PI薄膜,基于超快激光的剥离技术具有高效、零损伤、高选择性等优势,有望突破柔性电子与Micro-LED巨量转移的技术瓶颈。
晶圆隐切
通过激光束对晶圆内部进行精确加热和瞬间冷却,从而在晶圆内部形成有序热应力场,形成一个有微缺陷、可断离的薄层,实现对晶圆的划片。避免传统机械切割或激光表面切割带来的表面损伤和碎屑污染,提高晶圆切割的精度和效率。
晶圆退火
通过控制加热和冷却过程,退火能够缓解应力、修复晶格缺陷、激活掺杂原子,并改善材料的电学和机械性质。这些改进对于确保晶圆在后续加工和最终应用中的性能和可靠性至关重要。

相关产品

紫外皮秒激光器
紫外皮秒激光器(波长355nm)结合紫外短波长与皮秒超快脉冲(10⁻¹²秒)优势,具备高精度冷加工能力。
智能手机、穿戴设备等消费电子产品对微细加工精度、材料兼容性及效率要求更高。我们提供可靠激光技术,用于多种核心材料与环节。
集成电路膜类材料切割
膜类材料是集成电路制造封装的关键材料,薄膜电阻受制程工艺影响,阻值精度难以精准控制。我们的激光调阻技术可实现高精度修调,切口质量与宽度均达行业领先水平,有效降低企业采购成本。
FPC切割
柔性电路板(FPC)以其轻薄、可弯曲等特性广泛用于移动设备。激光切割可实现高精度轮廓加工,支持非接触、无刀痕的高速作业,极大缩短加工节拍时间,适应多种材质与层叠结构。
PCB板切割
激光技术用于单层与多层 PCB 板的精密切割,替代传统铣刀,具备切边整齐、无毛刺、减少粉尘污染等优势,特别适用于微小元器件密集布线区域。
PI膜切割
聚酰亚胺(PI)材料耐高温、机械强度高,是常见的电子绝缘材料。传统方式难以实现精密图形加工,而激光技术可实现高分辨率轮廓切割与开窗,适用于摄像模组、触控传感器等领域。
激光打码
在芯片、外壳、连接器等零部件上实现高对比度、不易磨损的永久性打码,是溯源与防伪的关键一环。激光打码兼具速度与精度,适用于塑料、金属、陶瓷等多种材料。
IC芯片打标
我们提供稳定的激光功率输出,功率自动检测及校正保证打印品质的稳定性、一致性,凭借高效率、高性能、无耗材等显著优势,为IC芯片打标提供首选解决方案。
柔性屏切割
非接触式加工,具备微米级高精度,热影响区域极小,可避免出现应力破损、高温变形与微裂纹;切割路径灵活,加工速度快,适配自动化连续生产,无废液废渣,兼顾加工质量、设计自由度与绿色生产需求。

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紫外皮秒激光器
紫外皮秒激光器(波长355nm)结合紫外短波长与皮秒超快脉冲(10⁻¹²秒)优势,具备高精度冷加工能力。
光伏电池技术加速迭代,我们深度布局掺杂、开槽/消融、激光转印等关键工艺,覆盖多条技术路线,支撑主流电池的产能升级,助推下一代高效电池技术产业化。
BC电池开槽
作为关键工序,激光开槽直接影响BC电池性能表现。我们的精确开槽技术具备高精度、低损伤、高效量产与低成本优势,可满足大面积图形化加工需求。
太阳能硅片刻槽
能精确控制槽的尺寸和形状,刻槽深度和宽度可精确到微米量级,并快速实现均匀刻槽,提升电流收集效率,同时兼具加工效率高、设备成本低的特点。
激光开槽/消融(IBC电池)
IBC电池的制备过程中,激光开槽可以用于制备PN结环节的掩膜消融,同时保证较低的接触电阻、较高的电池效率与较好的钝化效果。  
TOPCon Poly减薄
通过合理设计Poly层的厚度分布,优化电池的钝化和导电性能,用于光电转换效率。冷加工、实现高精度(刻蚀宽度<20um)、参数灵活可调、工艺稳定性高。
钙钛矿电池划线
在钙钛矿太阳能电池制备领域,我们能精准定位去除膜层深度,保护基层不受损伤,线槽宽度可灵活调整。
ITO蚀刻
激光可替代传统湿法蚀刻,实现对 ITO 导电膜的选择性图形加工,具备绿色环保、无需掩膜版的优势,广泛应用于触控面板、显示器和智能穿戴设备。
透明导电膜(TCO)图案化
传统纳秒激光易产生热损伤,采用120W绿光皮秒激光器(波长532nm)刻蚀ITO/FTO线路,无微裂纹。高功率皮秒脉冲技术兼具高功率、短波长特性,在精密加工中优势显著。其高光子能量和低热影响特性,尤其适合高反金属及光敏材料的超精细加工。

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绿光皮秒激光器
绿光皮秒激光器(波长532nm)采用高功率皮秒脉冲技术(脉宽~10ps),兼具高平均功率(120W)和短波长特性,在精密加工中优势显著。其高光子能量和低热影响特性,尤其适合高反金属及光敏材料的超精细加工。
应对锂电、氢能、光伏快速发展对极耳焊接、隔膜打孔、电极加工的高要求,我们提供高效、稳定、环保的激光技术,助力提质增效。
正负极材料切割
正负极材料切割是锂电池前段关键工序,采用机械分切或激光裁切,将辊压后的复合极片加工为指定规格,严控切口毛刺与涂层脱落,规避内短路风险,保障电芯安全性,适配自动化制片量产。
极耳焊接
极耳焊接是锂电池制造关键工序,采用激光工艺将多层箔材极耳与导电件连接形成导电通路,热影响可控,可实现低内阻牢固焊点,规避虚焊、烧穿缺陷,适配锂电自动化量产。
电极加工
包括电极片切割、涂层去除、极片清洁等,激光可实现无接触精密加工,避免材料损伤,边缘整齐无毛刺,有效提升电池能量密度与一致性。
隔膜打孔
隔膜是锂离子电池关键的内层组件之一,在隔膜上加工微孔以改善离子透过性,激光可实现高精度孔径控制,避免机械冲孔造成的毛刺和拉伸变形,提升电池安全性与倍率性能。
锂电池打标
锂电池的外壳、电芯、电极片等部分均需进行激光打标与编码,确保产品可追溯性。激光系统可根据材料特性进行功率与波长调节,实现清晰、快速、无损的标记效果。

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红外皮秒激光器
红外超快激光器具备高达300W的平均功率与3.5mJ的单脉冲能量,结合优异的光束质量(M²<1.3)与灵活控制接口(RS232、GATE、TRIG、支持PSO功能),在实现厚玻璃切割(>19mm)等复杂工艺时,确保加工效率与系统稳定性兼备。模块化结构设计,便于集成与维护,适合大批量连续生产环境。
在量子科技应用潜力加速释放的背景下,我们聚焦窄线宽激光器等核心光源技术,覆盖量子计算、量子通信、量子测量等主要方向。
量子计算
量子计算利用量子叠加、纠缠特性,主流包含中性原子、离子阱等路线。中性原子方案通过多类激光协同工作,完成原子冷却、单原子囚禁排布、量子比特操控与里德堡纠缠建门,最终实现量子态读出与运算演化。
量子通信
量子通信利用激光调制光子量子态传输密钥,依托低噪窄线宽激光发光,通过光纤或空间链路传输,结合单光子探测防窃听,实现无条件安全通信。
量子测量
量子精密测量基于量子效应实现超高精度物理量探测,以窄线宽激光为核心。可冷却操控原子、制备量子态、优化干涉光路并抑制量子噪声,实现磁场、重力、时频等精密传感,支撑高精度原子钟测量。

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单频窄线宽激光器
华创鸿度自主研发生产的1064nm单频窄线宽激光器,专为高端科研场景打造,光谱纯净度高、运行稳定,可广泛应用于精密测量、量子物理、光谱学、光学传感等领域,是前沿科研的优质光源。
面向航空航天装备轻量化、高可靠、高精度制造运维需求,我们提供专业激光加工解决方案,覆盖航发零件精密加工、飞行器结构件焊接等场景,赋能航空航天金属增材制造装备国产化。
航空钛合金打标
激光标印是使用激光束热能汽化、融化/粘接或改变表面状况的过程。值得注意的是,由于激光束和材料表面的相互作用,激光标印用于钛合金材料室必须有工程设计部门批准。
叶片打孔
激光打孔可精准加工极小且形状各异的孔(如锥形),优化气流方向,提升冷却性能,一次装夹即可完成数百至数千个孔的加工。
航天管材精密切割
采用激光非接触加工航天高温合金薄壁管材,热影响小、切口无毛刺,可完成异形、坡口高精度裁切,避免机械应力损伤基材,满足航天严苛尺寸与结构可靠性要求。
特种涂层激光去除
依靠脉冲激光烧蚀选择性剥离航天防护涂层,非接触式逐层清除,精准控制能量,可保护底层基体不受损伤,无化学药剂,适配航天部件返修。

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红外飞秒激光器
华创鸿度自研红外飞秒激光器,兼具高能量和极短脉冲特性。其特点包括高峰值功率、低热影响区、高加工精度,适用于精密加工。加工效果优异,可实现无热损伤的冷加工,切割、钻孔、刻蚀等工艺边缘整齐,无熔渣或微裂纹,尤其适合脆性材料和高精度需求场景。
激光技术在医疗领域的应用持续演进,如今已成为眼科、皮肤科等多学科不可或缺的工具,凭借微创、精准、恢复期短等优势,并与机器人、人工智能等前沿技术深度融合。
心脏/血管支架切割
使用普通激光加工的心脏支架存在毛刺多、切槽宽度不统一、表面烧蚀严重、筋宽不均匀等一系列问题。近年来,国外企业已经开始采用飞秒激光进行支架切割。
医学膜类/软管材料
传统接触式加工难以实现洁净切割,易产生边缘残留。我们采用非接触式激光工艺,不受材料柔软性影响,切割精度达±5μm,无毛刺,热影响区<20μm。
医疗器械打标
我们提供深黑抗腐蚀医疗器械打标技术,如镀铬手术刀打标:标记永久清晰、安全无毒,微米级精度有效防伪溯源。该方案满足UDI国际标准,耐反复消毒且表面平滑,助力实现医疗器械全程自动化追踪。
医疗薄壁管-铝合金薄片精密切割
采用脉冲激光非接触加工医疗薄壁管材与铝合金薄片,热影响区小,微米级精度,切口无毛刺、无氧化,可加工异形微孔,避免应力变形,满足医疗器械洁净、高可靠要求。

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红外飞秒激光器
华创鸿度自研红外飞秒激光器,兼具高能量和极短脉冲特性。其特点包括高峰值功率、低热影响区、高加工精度,适用于精密加工。加工效果优异,可实现无热损伤的冷加工,切割、钻孔、刻蚀等工艺边缘整齐,无熔渣或微裂纹,尤其适合脆性材料和高精度需求场景。
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