绿光皮秒激光器 - 安徽华创鸿度光电科技有限公司

绿光皮秒激光器

绿光皮秒激光器

120W绿光皮秒激光器（波长532nm）采用高功率皮秒脉冲技术（脉宽~10ps），兼具高平均功率（120W）和短波长特性，在精密加工中优势显著。其高光子能量和低热影响特性，尤其适合高反金属及光敏材料的超精细加工。

可实现微米级切割/钻孔，边缘无熔渣（如铜、铝等高反材料）；支持脆性材料冷加工（玻璃、陶瓷等），避免裂纹；表面处理（结构化、打标）对比度高、无热损伤。

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最高功率可覆盖120W，实现更高功率与更高稳定性技术突破，可大幅提升量产节拍
优异的指向稳定性和光斑均匀性，使得该产品可满足DOE整形加工的高技术要求
激光器支持可编程的Burst Mode功能，允许用户自定义脉冲串内的脉冲个数、间隔和能量分配，可以更精细地控制能量沉积过程

PHGR Series

中心波长

532nm

平均功率

≥120W

重复频率

400-2000KHz

单脉冲能量

>300μj

脉宽

10ps

光束质量

M²<1.3

光斑圆度

≥90%

功率稳定性

RMS≤ 0.8%

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背膜开槽：精准刻蚀AlOx/SiNx叠层，避免损伤硅基底，提升光电转换效率
激光掺杂（SE）：选择性消融磷硅玻璃（PSG），实现局部重掺杂，降低接触电阻
透明导电膜（TCO）图案化：刻蚀ITO/FTO线路，无微裂纹（传统纳秒激光易产生热损伤）

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