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StarLight-Sab系列
StarLight-Sab系列
StarLight-Sab系列属于超精密微纳加工系统,可选配不同型号的超快激光器、微纳级精度电控位移平台以及多种形式的激光聚焦头。系统采用花岗石基座和龙门架,结构紧凑,具有工业级高稳定性、高可靠性等特征。系统包含封闭式光路传输、调节和成像系统,包含光束整形、功率监测、同轴照明和视觉模块等。
StarLight-Sab系列属于桌面式小型激光加工系统,StarLight-Sab系列都可以为其提供最优解决方案和应用。例如:飞秒激光精密刻蚀、微纳结构制备、光子器件直写、表面功能化改性、极端纳米加工、触摸屏和ITO切割以及金属陶瓷等材料的制孔和切割、在硅基表面和内部加工微纳波导结构,实现新型光电子器件的前沿基础技术研究。
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产品优势
主要功能配置
参数
应用案例
功能特点
· 集成多轴高精度定位平台
· 超稳定花岗石龙门支架结构
· 兼容多款超快激光器
· 模块化设计光束传输系统
· 功能丰富的激光加工头
加工头选项
· 扫描振镜加工头
· 高数值孔径物镜加工头
应用领域
· 激光精密刻蚀
· 激光精密切割
· 激光精密制孔
· 激光微结构制作
数控系统支持三轴PS0激光加工控制方式;
数控系统支持直线、圆弧、螺旋线等插补方式;
数控系统支持G代码编程,支持DXF、DWG等格式图形文件导入并直接用于振镜扫描加工;
系统配置有激光功率监测与控制模块,可根据需要在线调节激光加工功率;
系统配置有同轴视觉监视系统,可用于工件辅助定位,可实时监测加工过程和加工质量;
系统可根据客户需要,配置真空吸盘、光纤夹具、刻波导夹具等工装夹具系统可根据客户需要,配置真空气泵、加工粉尘集尘装置。
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高精度划线/切割:
StarLight-Sab系列可以输出高峰值功率的飞秒脉冲激光,通过选用合适数值孔径的聚焦物镜可以对手机屏玻璃盖板、ITO导电薄膜等材料实现高效、超精细划线和切割,特别适合工业用户。
二维和三维表面微结构制作:
StarLight-Sab系列不仅可以用来在材料表面制作二维结构,也可以用来制作三维结构,能够得到的微结构尺寸可达纳米量级。
光纤光栅刻写:
StarLight-Sab系列可以用来刻波导、刻写光纤光栅,可实现对比度50dB的bragg光栅刻写。
纳米钻孔:
StarLight-Sab系列可以实现纳米级钻孔。
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