高重频紫外/深紫外皮秒激光器 - 安徽华创鸿度光电科技有限公司

高重频紫外/深紫外皮秒激光器

高重频紫外/深紫外皮秒激光器

华创鸿度开发的激光器产品是半导体前道制造设备中量测设备、退火设备工作的核心器件，是影响晶圆制造良率的直接核心耗材，拥有很大发展潜力。同时该系列产品在材料表面检测、激光诱导击穿光谱(LIBS)、激光诱导荧光(LIF)、紫外拉曼光谱仪、激光精细微加工等方面具有独特的技术优势。

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重频最高可实现120MHz高频输出，实现进口替代助力国产半导体检测
本产品采取自动换点方案，可极大提高激光器使用寿命，高达20000H+
支持RS232、GATE、TRIG控制，具备PSO功能
模块化设计，结构稳定，维护便捷

120M/80M Laser Series

中心波长

266/355nm

平均功率

>4W/1W

重复频率

120MHz/80MHz

脉宽

10ps

光束质量

M²<1.3

光斑圆度

≥90%

功率稳定性

RMS ≤ 1%

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华创鸿度开发的激光器产品是半导体前道制造设备中量测设备、退火设备工作的核心器件，是影响晶圆制造良率的直接核心耗材，拥有很大发展潜力。同时该系列产品在材料表面检测、激光诱导击穿光谱(LIBS)、激光诱导荧光(LIF)、紫外拉曼光谱仪、激光精细微加工等方面具有独特的技术优势。

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