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紫外皮秒激光器
紫外皮秒激光器
40W紫外皮秒激光器(波长355nm)结合紫外短波长与皮秒超快脉冲(10^-12秒)优势,具备高精度冷加工能力。
其特点包括:高光子能量:紫外光易被多数材料吸收,尤其适合高反/透明材料加工;低热影响:皮秒脉冲实现微米级加工,几乎无热扩散;高光束质量:聚焦光斑小(可达μm级),适合超精细加工。
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产品优势
核心指标
应用案例
355nm紫外波长,可被绝大多数材料高效吸收(尤其对聚合物、玻璃、半导体等),实现亚微米级的超精细加工,突破传统激光的精度极限
热影响区近乎为零,加工过程中热影响程度较小,能够维持材料的原始性能
光束质量M²<1.1可实现高精度切割,保证切割边缘质量和精准性
PHUV Series
中心波长
355nm
平均功率
≥40W
重复频率
500-2000KHz
单脉冲能量
>80μJ
脉宽
10ps
光束质量
M²<1.2
光斑圆度
≥90%
功率稳定性
RMS≤1%
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消费电子(柔性电路FPC切割、摄像头玻璃钻孔)
半导体(晶圆划片、MicroLED修复)
生物医疗(血管支架精细切割)
科研(光子器件制备)
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高重频紫外/深紫外皮秒激光器
华创鸿度开发的激光器产品是半导体前道制造设备中量测设备、退火设备工作的核心器件,是影响晶圆制造良率的直接核心耗材,拥有很大发展潜力。同时该系列产品在材料表面检测、激光诱导击穿光谱(LIBS)、激光诱导荧光(LIF)、紫外拉曼光谱仪、激光精细微加工等方面具有独特的技术优势。
红外皮秒激光器
满足玻璃、蓝宝石及特种材料切割、钻孔、通孔等高精密应用,热影响区小、加工质量稳定,适用于消费电子与高端制造等多种行业。
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适用于BC电池刻蚀、PCB/PI膜切割及太阳能电池划线等高精密工艺。
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